66 MEMORIAL ARTILLERíA, nº 171/2 - Diciembre de 2015 de Figura 3: Proceso de fabricación LIGA electrónica, una multiplicidad de microsensores esencialmente idén-ticos integrados con la electrónica, un solo microaccionador integrado con la electrónica, o una multipli-cidad de microaccionadores esen-cialmente idénticos integrados con la electrónica. Sin embargo, con el avance de los métodos de fabrica-ción de los MEMS, se vislumbra una enorme libertad de diseño, en el que cualquier tipo de microsen-sor y cualquier tipo de microaccio-nador se pueden combinar en un solo sustrato con la microelectró-nica, así como con la fotónica, la nanotecnología, etc. La visión de los MEMS, donde microsensores, microactuadores y microelectrónica y otras tecnologías se pueden integrar en un solo mi-crochip, puede ser uno de los más importantes avances tecnológicos del futuro. Esto permitirá el desa-rrollo de productos inteligentes me-diante el aumento de la capacidad computacional de la microelectró-nica con las capacidades de per-cepción y control de microsensores y microactuadores. Circuitos mi-croelectrónicos integrados pueden ser considerados como el "cerebro" de un sistema, donde los MEMS au-mentan la capacidad de toma de de-cisiones con "ojos" y "brazos", para permitir a los microsistemas detec-tar y controlar el medio. Los senso-res recogen información del entorno a través de mediciones mecánicas, térmicas, biológicas, químicas, óp-ticas, y los fenómenos magnéticos. La electrónica entonces, procesa la información recogida por los senso-res, y a través de una cierta capa-cidad de toma de decisiones dirige a los accionadores para responder por el movimiento, el posiciona-miento, la regulación, bombeo, y filtrado, controlando de este modo el medio con algún resultado o pro-pósito deseado. En definitiva, este micromundo nos llevará a ampliar los límites de nuestro macromundo. Y concreta-mente ha revolucionado la fabrica-ción de las espoletas. FABRICACIÓN DE LOS MEMS DE SEGURO Y ARMADO Existen varios procesos para la fabricación de estos dispositivos, pero aquí sólo vamos a describir el proceso empleado en los seguros de armado de las espoletas denomina-do tecnología LIGA. LIGA, es el acrónimo en alemán para "LIthographie Galvanofor-mung Adformung”. Es principal-mente una tecnología no basada en silicio, y requiere el uso de un sin-crotrón (acelerador de partículas) ... Lo sorprendente de este desarrollo es que muchos de estos sensores micromeca-nizados han demostrado unas características muy superiores a sus homólogos fabricados en macroescala...
Memorial de Artillería 171_2
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